研究開発

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アクティブスクリーンプラズマ窒化装置
(Active Screen Plasma Nitriding furnace)大型ASP

稼働中のアクティブスクリーン

稼働中のアクティブスクリーン

稼働中のアクティブスクリーン

グロー放電を炉壁とスクリーン間で起こし、
スクリーンからの熱輻射で材料温度を上昇させるとともに、
スクリーンを通過した反応活性種により表面改質処理を行います。
処理品表面でのグロー放電を発生させないことから、
材料形状に起因する改質不均一(エッジ効果、ホローカソード効果)
の回避が可能です。

装置の主な仕様
炉体構造 スイングベル型:鉄鋼製二重構造
冷却方式 二重ジャケット水冷方式(炉内撹拌ファン敷設)
炉内有効サイズ 直径1000mm×高さ1200mm
使用ガス種 使用ガス種 水素、アルゴン、窒素、メタン、酸素
排気系 メカニカルブースターポンプ及び油回転ポンプ
真空排気能力 真空到達度0.1mbar以下(空炉、室温)
真空排気速度0.1mbarまで20分以内
(空炉、室温、脱ガス、N2置換後)
制御プログラミング PLCで対話形式プログラミング可能
必要電力 相400Vで150kVA
(プラズマ電源用120kVA、その他20kVA)
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