▶窒化処理は硬度や耐摩耗性などの機械的特性の向上を目的として、自動車や航空機部品、治工具、金型などの様々な分野で工業的に利用されている。特にプラズマを用いた窒化処理は、焼戻し温度（500℃）以下で処理を行うことができ、熱変形が少なく、表面荒れも少ないため、金型や■動部品、コーティング処理の下地処理としての利用が増加している。▶アクティブスクリーンプラズマ（ASP）窒化法は、処理品に印加するバイアス電圧の調整により、鏡面性を維持した光輝窒化ーーバイアス電圧 ： 弱光輝窒化0.0320.2431,20030ASP窒化法窒素・水素混合ガスプラズマ処理品イオン窒化相当バイアス電圧 ： 強0.0790.5211,20035〈アクティブスクリーンプラズマ（ASP）窒化装置〉〈装置仕様〉型 式 ： NASP-300有効寸法 ： φ600×600Hmm処理重量 ： 300kg/バッチ鋼種 ： SKD61外観写真表面粗さRa[μm]表面粗さRz[μm]表面硬度 [Hv]窒化深さ [μm](硬度1,000[Hv]以上)処理中の様子処理前0.0050.052〈ASP窒化装置構成〉ASP窒化法は処理品と炉壁の間にスクリーンを設置し、スクリーンを陰極、炉壁を陽極として、スクリーンと炉壁の間でプラズマを発生させることに特徴がある。スクリーン表面で窒素イオン、ラジカルなどが混在したプラズマを形成し、これらを処理品表面に到達させ、窒素を鋼材内部に拡散することにより処理品を窒化する。また、加熱補助ヒーターと冷却機構（ファン、ブロア）の搭載により、昇温時間及び冷却時間を短縮できるため、１日２バッチの処理が可能である。スクリーン電極ステージ炉壁 接地真空排気バイアス電圧スクリーン電圧と従来のイオン窒化の両方を兼ね備えたハイブリット窒化技術である。窒化概要装置0102
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