●ASP窒化 〜ハイブリット窒化〜●ASP窒化 〜鋼種別データ〜]vH[ ]vH[ ]vH[ さ硬さ硬さ硬000【光輝窒化】バイアス電圧 ： 弱〈表面粗さ（鋼種別データ①）〉処理温度 ： 480℃ / 処理時間 ： 5時間【イオン窒化相当】処理温度 ： 480℃ / 処理時間 ： 5時間表面粗さ[μm]RaRz0.052SKD61SKD11SKH51SUS3040.2430.521バイアス電圧 ： 強鋼種表面粗さ[μm]RzRa0.0320.0570.0180.097❶ASP法はプラズマ生成と昇温に要する“スクリーン電圧”と窒化性能の制御を行う“バイアス電圧”に分かれている。このステージ側に印加するバイアス電圧を調整することにより、処理品へ供給する窒素イオン量を制御することができ、従来法に比べて窒化性能の制御性に優れているため、ハイブリット窒化を実現できる。❷ASP法は窒素ガスと水素ガスのみを用いて窒化するため、有害ガスを使用しない。❸ASP法は処理品に対して直接的にプラズマを発生させるのではなく、スクリーンを介して間接的にプラズマを発生させるため、処理品の形状に影響されない。したがって、エッジ効果、ホローカソード効果、アーキングを抑制することができる。【未処理】鋼種 ： SKD61〈表面粗さ（ハイブリット窒化）〉140012001000800600400200020〈窒化硬度分布（鋼種別データ①）〉処理条件（鋼種 : SKD61）未処理0.005光輝窒化0.032バイアス電圧 ： 弱イオン窒化相当バイアス電圧 ： 強0.079406080深さ [μm]SKD61SKH51SKD11SUS304窒素・水素混合ガスプラズマ処理品1400120010008006004002000100〈表面粗さ（鋼種別データ②）〉スクリーン電極ステージ炉壁接地真空排気バイアス電圧スクリーン電圧14001200100080060040020002040深さ [μm]2040深さ [μm]❷有害ガス不使用❸間接的プラズマ・エッジ効果・ホローカソード効果 抑制・アーキング❶窒化性能を制御〈窒化硬度分布（ハイブリッド窒化）〉〈窒化硬度分布（鋼種別データ②）〉鋼種NAK55S50C0.2430.5540.1560.716SACM645SUS420J2ALLOY718NAK55SACM645ALLOY718S50CSUS420J2表面粗さ[μm]RzRa0.0600.0980.0720.0820.0520.4560.6580.5370.6020.433バイアス弱バイアス強60801006080100▶ASP窒化は高品質な光輝窒化と従来のイオン窒化の両方を兼ね備えたハイブリット窒化であるASP窒化はお客様の要求特性に応じて窒化処理対応が可能です。随時テスト処理や受託加工を請け負っておりますので、一度ご相談ください。優位性窒化性能0304
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