研究開発

研究開発

小型ASP

小型ASP装置

小型ASP装置

制御盤+プラズマ電源

制御盤+プラズマ電源

アクティブスクリーンプラズマ窒化法(ASP)は優れた窒化法であるが、
現状のものは装置が大型であり、装置コストが高い。また大物処理用であり、小物部品や小ロット処理用に小回りが利かないという課題がある。
この問題を解決するためには、装置の小型化を行い、
プラズマ電源の仕様もそれに合わせて小さくすることが課題であるため、
小型・低コストなプラズマ電源と制御装置の開発を進めています。

仕様
窒化処理温度 500~600°C
有効寸法 φ300×300H
使用ガス 窒素,水素,メタン,アルゴン
スクリーン電源 電流 -10~-50
電圧  0~-600
バイアス電源 電流 -0.5~-10
電圧 0~-600
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