ASP窒化
高品質な光輝窒化を実現する次世代の技術
窒化概要
▶︎窒化処理は硬さや耐摩耗性などの機械的特性の向上を目的として、自動車や航空機部品、治工具、金型などの様々な分野で工業的に利用されています。特にプラズマを用いた窒化処理は、焼戻し温度（500℃）以下で処理を行うことができ、熱変形が少なく、表面荒れも少ないため、金型や摺動部品、コーティング処理の下地処理としての利用が増加しています。
▶︎アクティブスクリーンプラズマ（ASP）窒化法は、処理品に印加するバイアス電圧の調整により、窒化性能を自在に制御することができるため、処理前の鏡面性を維持したままの光輝窒化を実現できます。
装置
＜アクティブスクリーンプラズマ（ASP）窒化装置＞
＜装置仕様＞
型 式 ： NASP-300
有効寸法 ： φ600×600Hmm
処理重量 ： 300kg/バッチ
＜ASP窒化装置構成＞
ASP窒化法は処理品と炉壁の間にスクリーンを設置し、スクリーンを陰極、炉壁を陽極として、スクリーンと炉壁の間でプラズマを発生させることに特徴があります。スクリーン表面で窒素イオン、ラジカルなどが混在したプラズマを形成し、これらを処理品表面に到達させ、窒素を鋼材内部に拡散することにより処理品を窒化します。
優位性
ASP法はプラズマ生成と昇温に要する“スクリーン電圧”と窒化性能の制御を行う“バイアス電圧”に分かれています。このステージ側に印加するバイアス電圧の調整により、処理品へ供給する窒素イオン量を制御することができるため、窒化性能の制御性に優れています。
ASP法は窒素ガスと水素ガスのみを用いて窒化するため、有害ガスを使用しません。
ASP法は処理品に対して直接的にプラズマを発生させるのではなく、スクリーンを介して間接的にプラズマを発生させるため、処理品の形状に影響されません。したがって、エッジ効果、ホローカソード効果、アーキングを抑制することができます。
窒化性能
●ASP窒化 ～標準データ～
処理温度 ： 480°C / 処理時間 ： 5時間
【未処理】
鋼種 ： SKD61
【光輝窒化】
バイアス電圧 ： 弱
バイアス電圧 ： 強
●ASP窒化 ～鋼種別データ～
処理温度 ： 480°C / 処理時間 ： 5時間
ASP窒化はお客様の要求特性に応じて窒化処理対応が可能です。
随時テスト処理や受託加工を請け負っておりますので、一度ご相談ください。
※詳しいことが知りたい方は、お気軽にお問合わせください。
