コーティング
Ti系硬質膜の高い密着性、良好な付きまわり性を実現
熱CVDコーティング
化学気相堆積（化学蒸着、Chemical Vapor
Deposition：CVD）法は、ハロゲン化合物などの金属の化合物を加熱した被処理物上にガスで供給し、混合ガスから化学的にその金属の炭化物、酸化物、窒化物の硬質物質の薄膜を被処理物上に合成する技術です。
当社の熱CVD法で得られるTi 系硬質膜は、密着性が良く、狭い隙間や細い穴の内部への成膜が可能です。
スローアウェイチップ等の工具やプレス加工で用いられるパンチやダイ等の金型で広く利用いただいております。
三層コーティング
高アスペクトコーティング
近年、被処理物の内面・内壁へのコーティングのニーズが高くなってきています。当社では、熱CVD法の特徴である付きまわり性に着目し、検討を重ね、細い穴への高アスペクトコーティングを実現しました。
内壁へのコーティング結果
□5mmに対するアスペクト比40のTiCコーティングを実現